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描述:Asahi-spectra朝日分光光學(xué)鍍膜測厚儀這是一種光譜膜厚監測監測器,用于監測單色光氣相沉積過(guò)程中基板光強度的變化。 此外,還用于本公司的氣相沉積設備,作為氣相沉積部件制造商,在充滿(mǎn)專(zhuān)業(yè)知識的膜厚監測設備中完成。
標題:Asahi-spectra朝日分光光學(xué)鍍膜測厚儀
產(chǎn)品概述
品牌 | Asahi Spectra/日本 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
---|---|---|---|
是否可提供報關(guān)單 | 是 | 貨期 | 備庫銷(xiāo)售,現貨 |
可售賣(mài)地 | 全國 |
什么是OMD-1000?
這是一種光譜膜厚監測監測器,用于監測單色光氣相沉積過(guò)程中基板光強度的變化。 此外,還用于本公司的氣相沉積設備,作為氣相沉積部件制造商,在充滿(mǎn)專(zhuān)業(yè)知識的膜厚監測設備中完成。
小葉傳統型號具有濾光片式波長(cháng)選擇,但新產(chǎn)品采用了我們久經(jīng)考驗的光譜儀,現在可以選擇任何波長(cháng)。
薄膜厚度變化的信號從電壓輸出變?yōu)榕c個(gè)人計算機兼容的數字輸出,控制機構由個(gè)人計算機的命令控制,而不是手動(dòng)操作。 此外,通過(guò)I/F直接控制與個(gè)人電腦相連的膜厚儀本體,沒(méi)有像其他制造商那樣的控制器,是一個(gè)非常緊湊的系統。
集成光譜儀的緊湊型設計
提高抗噪性,實(shí)現可靠的膜厚監測(靜電放電試驗耐壓±5kV)
可通過(guò) PC 命令自動(dòng)控制
控制器內置于接收器本體中,實(shí)現高性?xún)r(jià)比。
它連接到氣相沉積設備上,并監控膜厚。
它可以如右圖所示安裝。
反射式監測
透射式監控
(泛光燈彎曲)
透射式監控
(直接連接到泛光燈)
受光器
泛光燈
電源箱
散裝法蘭
* 包含在反光鏡盒中
反光鏡盒
透射鏡盒
型式 | OMD-1000型 |
光譜儀類(lèi)型 | 車(chē)爾尼-特納單色 |
波長(cháng)范圍 | 保修范圍:380~900nm工作 范圍:350~1100nm |
波長(cháng)分辨率 | 狹縫 0.5mm:4.2nm [546nm] 狹縫 1.0mm:8.3nm [546nm] |
波長(cháng)精度 | ±1.0納米 |
最小波長(cháng)饋電 | 0.1納米 |
外部控制 | RS232C接口 |
外部輸出端子 | DC0~2V (滿(mǎn)量程) |
采樣間隔 | 100ms以上 |
靜電放電試驗耐壓 | ±5 kV(實(shí)際 8 kV) |
光源 | 12V100W鹵素燈 |
光量安定性 | ±0.1%/h 以下 |
輸入電壓 | AC100V 50/60赫茲 |
允許輸入電壓 | 交流85~132V |
視在功率 | 340VA以下 |
使用環(huán)境 | 溫度 10~35℃ 濕度 20~80% |
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