簡(jiǎn)析電感測微儀有哪些組成部分及測量方法

電感測微儀是一種能夠測量微小尺寸變化的精密測量?jì)x器，它由主體和測頭兩部分組成，配上相應的測量裝置(例如測量臺架等)，能夠完成各種精密測量，具有精度高、測量范圍廣、穩定性好等優(yōu)點(diǎn)。因此，電感測微儀被廣泛應用于精密機械制造業(yè)、 晶體管和集成電路制造業(yè)以及其他相關(guān)行業(yè)的精密長(cháng)度測量。

一、電感測微儀的組成部分

1、測微儀主體

電感測微儀配合測量臺架及專(zhuān)用測頭等輔助裝置，可將零件的實(shí)際表面與理想幾何表面的差異轉變?yōu)闇y頭的位移并與電信號相對應,通過(guò)放大電信號而對零件的質(zhì)量有直觀(guān)**的反映。利用電感測微儀的這一-特性能夠完成各種精密測量,比如檢查工件的厚度、內徑、外徑、圓度、平行度、直線(xiàn)度、徑向跳動(dòng)等。

2、測量臺架

電感測微儀靈敏度很高，其測頭必須固定，工件在測量時(shí)也必須進(jìn)行**定位。為實(shí)現這一要求，在測量中使用測量臺架以固定測頭并對工件進(jìn)行定位。

3、專(zhuān)用測量頭

為利用電感測微儀對錐面進(jìn)行檢測，需制作系列專(zhuān)用測量頭配套使用。

定位桿起模擬內孔基準的作用，根據零件內孔公差，按一定間隔制成不同的尺寸。在保證定位桿尺寸精度的同時(shí)對定位桿的形位公差也必須進(jìn)行嚴格控制，如外圓圓度、素線(xiàn)直線(xiàn)度等都必須控制在0.0005mm以?xún)?。定位桿右端的平面度必須控制在0.001mm以?xún)?，且該平面對定位桿軸線(xiàn)的垂直度也應該嚴格控制，因為該平面為測量面，與電感測微儀測頭相接觸，直接影響測量的精度。

定位測量頭與定位桿夾角為45°，其在測量過(guò)程中始終與零件的錐面相接觸，且與定位桿軸線(xiàn)的距離必須嚴格控制。為保證該距離符合要求，可以將定位測量頭與定位桿使用細牙螺紋連接，以便于調整。同時(shí)必須保證定位測量頭部分面積盡可能小，以保證其與零件的測量錐面為點(diǎn)接觸。為使較尖的部分有一定的耐磨性，可對其進(jìn)行淬火處理。

二、電感測微儀的主要測量方法

測量前先對零件的內孔進(jìn)行測量，然后根據內孔的實(shí)際尺寸選擇相應的定位桿，以保證定位桿與內孔的配合間隙在0.001mm以?xún)?。調整電感測微儀的倍率，把零件放置在工作臺上，將定位桿插入零件的孔中并進(jìn)行旋轉，使定位測量頭在零件的小錐面上旋轉，觀(guān)察電感測微儀指針的偏擺，根據相關(guān)計算公式驗算即可得到數據。

以上就是電感測微儀有哪些組成部分及測量方法的相關(guān)內容介紹。通過(guò)上述內容可知，電感測微儀測量效果出眾，各個(gè)組成部分都有具體作用，配合好的測量方法能夠得到正確的數據，因此應用廣泛。